FDC-S膜厚控制儀
一．應用范圍：
FDC-S膜厚控制儀適用于電子束鍍膜、磁控濺射、電阻熱蒸發等各種鍍膜厚度控制場合。與蒸發源形成閉環控制，實時控制和顯示完整的鍍膜數據，包括功率、速率、厚度和所用時間，可鍍制復雜的光學和金屬多層薄膜，通過觸摸屏控制實現各種操作，較傳統的按鍵操作更為直觀易懂。儀器編程極為方便，總共可設置32個膜系，每個膜系50/100層鍍膜層，為您多層鍍膜帶來極大方便。這些功能為您獲取鍍膜工藝提供良好 基礎。
FDC-S膜厚控制儀有以下幾個特殊功能：手動控制；人工終止鍍膜、晶振失效時按當時功率鍍膜、晶振失效時切換晶片繼續（多晶片探頭）、中斷膜系、兩個源同時預熔、密碼保護等。
二．技術特點：
1. 全觸屏操作，簡單易用；
FDC-S膜厚控制儀適用于電子束鍍膜、磁控濺射、電阻熱蒸發等各種鍍膜厚度控制場合。與蒸發源形成閉環控制，實時控制和顯示完整的鍍膜數據，包括功率、速率、厚度和所用時間，可鍍制復雜的光學和金屬多層薄膜，通過觸摸屏控制實現各種操作，較傳統的按鍵操作更為直觀易懂。儀器編程極為方便，總共可設置32個膜系，每個膜系50/100層鍍膜層，為您多層鍍膜帶來極大方便。這些功能為您獲取鍍膜工藝提供良好 基礎。
FDC-S膜厚控制儀有以下幾個特殊功能：手動控制；人工終止鍍膜、晶振失效時按當時功率鍍膜、晶振失效時切換晶片繼續（多晶片探頭）、中斷膜系、兩個源同時預熔、密碼保護等。
二．技術特點：
1. 全觸屏操作，簡單易用；
2.32個膜系，每膜系50/100層自動鍍膜；
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出；
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出；
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
5.可控制2個源，一套工作另一套預溶；
三．技術參數：
三．技術參數：
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FDC-S控制儀
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晶振頻率
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6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
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顯示方式
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5”彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚
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操作方式
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觸摸屏
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終 厚
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00μ0000?-99μ9999?
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厚度顯示分辨率
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1?/s
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速率顯示分辨率
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0.1?/s
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鍍膜層數
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32膜系，每膜系50/100層；
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探頭數量
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A B
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工具因子
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0.01-99.99
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時間顯示
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00:00:00-23:59:59 H:M:S
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功率顯示
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0～99.9%
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預熔功率
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0～99%
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預鍍功率
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0～99.9%
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預熔時間/預鍍時間
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0～99:99 m:s
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預熔保溫時間
/預鍍保溫時間
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0～99:99 m:s
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鍍膜速率（設定速率）
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0～999.9?/s
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材料存儲
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257+自定義10種
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通 訊
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RS232/RS485
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可控蒸發源
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2個，可一套工作另一套預溶
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輸出控制
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±10V/5V/2.5V
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I/接口
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12路信號輸入/12路開關量輸出
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可控坩堝數量
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1-16個
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鍍膜顯示
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速率曲線/數值
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鍍膜巡回次數
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每膜系50/100層自動
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機箱尺寸
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480×280×89mm(2U 19”機箱)
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后面板：
四．特殊功能：
1、手動、半自動、自動3種鍍膜模式，滿足多種鍍膜機配置；
2、人工停止鍍膜：鍍膜過程中人工終止鍍膜；
3、手動控制：確定初次鍍膜工藝要求；
4、中斷膜系：自動和半自動鍍膜中發現問題或出現故障，能停止鍍膜并能自動保存當前狀態，待故障清除后，可從中斷膜系繼續鍍膜；
5、自動或半自動鍍膜時，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當前功率時間鍍膜、切換晶片繼續（多晶片探頭）；
6、兩個源同時預熔：當前層鍍膜開始過程中，可選擇同時對第2層進行預熔，以滿足對時間要求緊張的場合；
7、密碼保護：膜系和膜層參數密碼保護功能，保護工藝參數不被非工藝人員修改；
8、鍍膜數據記錄：自動或半自動鍍膜時，系統可記錄每層膜的成膜時間、最終厚度速率參數。
備注：此型號可以代替FCM-Ⅱ型號