FTM107-A膜厚監控儀
一、技術特點：
1.全觸摸屏操作顯示，簡單易用；
2.二組繼電器輸出，到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發源；
3.實時顯示速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時間；
4.提供RS232/RS485接口。
二．應用范圍：
適用于電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，通過觸摸屏和數碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數據。
采用了更先進的軟件和硬件設備，進一步提高了儀器抗干擾能力。
三、主要參數：
|
|
FTM107-A監控儀
|
|
晶振頻率
|
6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
|
|
顯示方式
|
5”彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚
|
|
操作方式
|
觸摸屏
|
|
厚度顯示范圍
|
0-99μ9999?
|
|
厚度實際分辨率
|
0.1?（鋁）
|
|
厚度顯示分辨率
|
1?
|
|
速率范圍
|
0-999.9?
|
|
速率顯示分辨率
|
0.1?/s
|
|
鍍膜層數
|
99層
|
|
探頭輸入
|
4路（任選一路工作）
|
|
工具因子
|
0.01-99.99
|
|
材料存儲
|
257+自定義10種
|
|
通 訊
|
RS232/RS485
|
|
擋板/源控制
|
2組觸點，到達厚度關擋板/蒸發源
|
|
鍍膜顯示
|
速率曲線/數值
|
|
鍍膜巡回次數
|
0-99
|
|
機箱尺寸
|
480×250×89mm(2U 19”機箱)
|
四．特殊功能：
（1）具有人工停止鍍膜功能
（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比
（3）顯示鍍膜結束后的監測實厚、材料和層次
備注：此型號可以代替FTM 106和FTM-V型號